国内首个硅基MEMS中试代工平台通过部级鉴定

    大众网淄博7月5日讯 （记者 许文 通讯员 张志东　孙超　冯志康）日前，由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成的国内首套“硅基MEMS中试代工平台”成果鉴定会在国高(淄博)微系统科技有限公司举行。鉴定委员会认为，该平台达到国际先进水平，一致同意通过鉴定。

　　据了解，MEMS(微机电系统)是目前世界制造业的热点,MEMS以其微型化的优势，在加速度计、陀螺仪、光学MEMS、图像传感器等领域都有相关应用，在军事领域和以汽车、电子、家电等为代表的民用行业有着极为广阔的应用前景。MEMS将成为未来的主导产业之一，引发一场新的产业革命。

　  目前，国内具备MEMS器件研发能力的工艺平台主要集中在院校和研究所，相对封闭和规模小，一般只是在研发平台上进行MEMS器件的初步开发，投入、创新、产量有限。面向军工级和宇航级应用的MEMS陀螺国外对中国采取严格的技术封锁政策，而国内需求巨大。高新区管委会与清华大学机械工程学院共建硅基MEMS(微机电系统)中试代工平台，实行企业化运营。清华大学以尤政教授为代表的团队，已研制出微加速度传感器、微型陀螺仪、集成MIMU、微型泵及微流量控制系统、微型传感器记录仪、微光学器件和系统等，同时在基于微米纳米技术的微型航天器与微型飞行器的新概念微型武器研究方面取得突破性进展。

　　硅基MEMS中试代工平台，符合国家、省市产业政策和支持方向。平台的搭建将带动淄博电子信息产业实现跳跃发展，对促进淄博市产业结构调整、提升IC产业竞争力、培育重大增长极起到有力的推动作用。高新区将加快MEMS产业建设，力争在年底前完成平台车间厂房、专家公寓、生活服务等基础设施，为入驻企业、客户提供一流的服务。